| Κατασκευαστής | Gasonics |
|---|---|
| Μοντέλο | 9104 |
| Έτος | |
| Τοποθεσία | Ηνωμένες Πολιτείες
|
| Κατηγορία | Ημιαγωγοί - Γκοφρέτας |
| Μέγεθος γκοφρέτας | 20.32 cm |
| ώρες εργασίας | |
| ώρες υπό ρεύμα | |
| κατάσταση | Καλός |
| Σύμφωνα με τους τοπικούς κανόνες | Ναί |
| κατάσταση | |
| Τελευταία ημερομηνία διαθεσιμότητας | 05/02/2026 |
| Αναγνωριστικό προϊόντος | P241023247 |
| Γλώσσα |
Gasonics 9104 плазмен ашър
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 Plasmaschleuder
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Arandela de plasma Gasonics 9104
Gasonics 9104 cendres à plasma
Gasonics 9104 plazma čistač
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
"Gasonics" 9104 plazminis ašeris
Gasonics 9104 plasma asher
Laser plazmowy Gasonics 9104
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 asher cu plasmă
Gasonics 9104 плазменный ашер
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 plazma asher
|
Το Σύστημα Gasonics 9104 Ash/Etch έχει σχεδιαστεί για την επεξεργασία ημιαγωγικών πλακών, συμβατό με μεγέθη πλακών μέχρι 20,32 εκ. (8 ίντσες). Διαθέτει δοχείο επεξεργασίας από χαλαζία με διάμετρο περίπου 14 ίντσες (περίπου 35,5 εκ.) και βάθος 20 ίντσες, κατάλληλο για εφαρμογές με φθοριωμένη χημεία. Το δοχείο περιλαμβάνει εξωτερικά RF ηλεκτρόδια και είναι εξοπλισμένο με θερμοζεύγος επικαλυμμένο με χαλαζία για παρακολούθηση θερμοκρασίας.
Το σύστημα χρησιμοποιεί γεννήτρια RF ENI OEM 12B, που παρέχει 1250 watt σε 13,56 MHz, ψύχεται με αέρα με αυτόματο δίκτυο προσαρμογής εμπέδησης· η υδρόψυξη διατίθεται ως επιλογή. Η πίεση της διεργασίας μπορεί να ελεγχθεί εντός εύρους περίπου 120 έως 2000 mtorr. Οι σωληνώσεις από ανοξείδωτο ατσάλι εξασφαλίζουν ανθεκτικότητα και χαμηλή μόλυνση με σωματίδια.
Ο έλεγχος γίνεται μέσω πολυκαναλικού μονοπλακιδίου υπολογιστή με έγχρωμη οθόνη αφής 12,1 ιντσών για παρακολούθηση και έλεγχο της διεργασίας, υποστηρίζοντας αυτόματες συνταγές καθώς και χειροκίνητες θεραπείες πλάσματος. Ο πίνακας ελέγχου περιλαμβάνει κουμπί έκτακτης ανάγκης, κουμπιά ΕΝΕΡΓΟΠΟΙΗΣΗΣ και ΑΠΕΝΕΡΓΟΠΟΙΗΣΗΣ, αριθμητικό πληκτρολόγιο και μονάδα δισκέτας για αποθήκευση δεδομένων.
Η παροχή αερίου περιλαμβάνει δύο μαζικούς ελεγκτές ροής με ανοξείδωτα εξαρτήματα VCR, καθένας ικανός να χειριστεί έως 500 sccm, με επιλογές για επιπρόσθετα κανάλια αερίου. Οι απαιτήσεις ισχύος είναι 208 έως 240 βολτ, τριφασικό, 50/60 Hz με διασύνδεση 5 καλωδίων τύπου wye.
Το σύστημα είναι τοποθετημένο σε περίβλημα από ανοξείδωτο ατσάλι με σχεδίαση τοποθέτησης σε τοίχο NEMA-12, με χειρολαβή κλειδώματος για ασφάλεια. Το περίβλημα περιέχει τον έλεγχο τροφοδοσίας AC, την παροχή ρεύματος και την αντλία, επιτρέποντας μία σύνδεση σε μία πηγή ενέργειας. Ο εξοπλισμός εμφανίζει καθαρή εξωτερική εμφάνιση με μικρές ενδείξεις χρήσης, συμπεριλαμβανομένης μικρής περιοχής αποχρωματισμού κοντά στο πλαίσιο του κυκλικού παραθύρου της κάψου και κάποια φθορά στη ξεχωριστή ηλεκτρονική μονάδα ελέγχου. Το γυαλί του κυκλικού παραθύρου είναι καθαρό και ανέπαφο, και η πίσω πλευρά περιλαμβάνει διάφορες συνδέσεις, ανεμιστήρες ψύξης και χειριστήρια διακοπής έκτακτης ανάγκης, όλα σε καλή κατάσταση.
Το σύστημα Gasonics 9104 διαθέτει πιστοποίηση CE και είναι κατάλληλο για επεξεργασία πλακών 4", 6" και 8", με χωρητικότητα περίπου 100 πλακών για 4", 50-75 για 6" και 50 για 8".
Η ακόλουθη περιγραφή έχει δημιουργηθεί με χρήση τεχνητής νοημοσύνης με βάση τις διαθέσιμες πληροφορίες προϊόντος. Παρέχεται μόνο για καθοδήγηση και ενδέχεται να μην αντικατοπτρίζει όλες τις προδιαγραφές ή τους όρους. Επικοινωνήστε μαζί μας εάν χρειάζεστε ακριβείς ή επιβεβαιωμένες λεπτομέρειες.
Σύστημα Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch
Βαρέλι χαλαζία 12" (διάμετρος) x 20" (D)
βαλβίδα μαλακής άντλησης και εξαέρωσης
σχεδιασμός χαμηλής σωματιδιακής συγκέντρωσης
2ea είσοδοι αερίου ροής μάζας με εξαρτήματα VCR
όλα τα υδραυλικά SS,
πολλαπλών καναλιών/ελέγχονται από υπολογιστή, με δισκέτα αποθήκευσης
παρακολούθηση θερμοκρασίας
Γεννήτρια RF ENI OEM 12B 1250W
Μέγεθος γκοφρέτας: 4", 6", 8" δυνατότητα
Χωρητικότητα: 50 δίσκοι 8", 50-75 δίσκοι 6", 100 δίσκοι 4".
Θάλαμος: Χαλαζίας, συμβατός με φθοριούχα χημικά. Διάμετρος 12" x βάθος 20". Εξωτερικά ηλεκτρόδια RF.
Γεννήτρια RF: MHz με αερόψυξη και αυτόματο δίκτυο προσαρμογής σύνθετης αντίστασης. Προαιρετικά υδρόψυκτη.
Πίεση διεργασίας: Πίεση: Περίπου 120 - 2000 mtorr.
Υδραυλικά από ανοξείδωτο χάλυβα.
Παρακολούθηση θερμοκρασίας: Θερμοστοιχείο με επικάλυψη χαλαζία που βρίσκεται στο θάλαμο διεργασίας.
Οθόνη: Έγχρωμη οθόνη αφής 12,1" για τον έλεγχο και την παρακολούθηση των παραμέτρων της διαδικασίας, των αυτόματων συνταγών ή των χειροκίνητων επεξεργασιών πλάσματος.
Τέσσερα καθορισμένα από τον χρήστη αέρια, με MFC από ανοξείδωτο χάλυβα 500 sccm είναι στάνταρ, ενώ διατίθεται προαιρετικά 3ο ή/και 4ο κανάλι αερίου.
Απαιτήσεις ισχύος: 208 - 240 βολτ, 3 φάσεις, 50/60 Hz 5 καλωδίων "wye".
Ένα περίβλημα επιτοίχιας τοποθέτησης NEMA-12 με λαβή ασφάλισης περιέχει τον έλεγχο ισχύος AC για τον εσχαριστή, το τροφοδοτικό και την αντλία, επιτρέποντας την πτώση από μία μόνο πηγή για το πλήρες σύστημα.
Πιστοποίηση CE.
Παρακαλώ σημειώστε ότι αυτή η περιγραφή μπορεί να έχει μεταφραστεί ή βελτιστοποιηθεί αυτόματα με τεχνητή νοημοσύνη (AI). Οι πληροφορίες αυτής της αγγελίας είναι μόνο ενδεικτικές. Συνιστούμε να ελέγξετε τις λεπτομέρειες με τον πωλητή πριν από την αγορά.
| Τύπος πελάτη | Έμπορος μηχανημάτων |
| Ενεργός από τότε | 2019 |
| Προσφορές online | 57 |
| Τελευταία δραστηριότητα | 03/11/2026 |
Σύστημα Gasonics/IPC 9104 Ash/Etch
Βαρέλι χαλαζία 12" (διάμετρος) x 20" (D)
βαλβίδα μαλακής άντλησης και εξαέρωσης
σχεδιασμός χαμηλής σωματιδιακής συγκέντρωσης
2ea είσοδοι αερίου ροής μάζας με εξαρτήματα VCR
όλα τα υδραυλικά SS,
πολλαπλών καναλιών/ελέγχονται από υπολογιστή, με δισκέτα αποθήκευσης
παρακολούθηση θερμοκρασίας
Γεννήτρια RF ENI OEM 12B 1250W
Μέγεθος γκοφρέτας: 4", 6", 8" δυνατότητα
Χωρητικότητα: 50 δίσκοι 8", 50-75 δίσκοι 6", 100 δίσκοι 4".
Θάλαμος: Χαλαζίας, συμβατός με φθοριούχα χημικά. Διάμετρος 12" x βάθος 20". Εξωτερικά ηλεκτρόδια RF.
Γεννήτρια RF: MHz με αερόψυξη και αυτόματο δίκτυο προσαρμογής σύνθετης αντίστασης. Προαιρετικά υδρόψυκτη.
Πίεση διεργασίας: Πίεση: Περίπου 120 - 2000 mtorr.
Υδραυλικά από ανοξείδωτο χάλυβα.
Παρακολούθηση θερμοκρασίας: Θερμοστοιχείο με επικάλυψη χαλαζία που βρίσκεται στο θάλαμο διεργασίας.
Οθόνη: Έγχρωμη οθόνη αφής 12,1" για τον έλεγχο και την παρακολούθηση των παραμέτρων της διαδικασίας, των αυτόματων συνταγών ή των χειροκίνητων επεξεργασιών πλάσματος.
Τέσσερα καθορισμένα από τον χρήστη αέρια, με MFC από ανοξείδωτο χάλυβα 500 sccm είναι στάνταρ, ενώ διατίθεται προαιρετικά 3ο ή/και 4ο κανάλι αερίου.
Απαιτήσεις ισχύος: 208 - 240 βολτ, 3 φάσεις, 50/60 Hz 5 καλωδίων "wye".
Ένα περίβλημα επιτοίχιας τοποθέτησης NEMA-12 με λαβή ασφάλισης περιέχει τον έλεγχο ισχύος AC για τον εσχαριστή, το τροφοδοτικό και την αντλία, επιτρέποντας την πτώση από μία μόνο πηγή για το πλήρες σύστημα.
Πιστοποίηση CE.
Παρακαλώ σημειώστε ότι αυτή η περιγραφή μπορεί να έχει μεταφραστεί ή βελτιστοποιηθεί αυτόματα με τεχνητή νοημοσύνη (AI). Οι πληροφορίες αυτής της αγγελίας είναι μόνο ενδεικτικές. Συνιστούμε να ελέγξετε τις λεπτομέρειες με τον πωλητή πριν από την αγορά.
| Κατηγορία | Ημιαγωγοί - Γκοφρέτας |
| Μέγεθος γκοφρέτας | 20.32 cm |
| ώρες εργασίας | |
| ώρες υπό ρεύμα | |
| κατάσταση | Καλός |
| Σύμφωνα με τους τοπικούς κανόνες | Ναί |
| κατάσταση | |
| Τελευταία ημερομηνία διαθεσιμότητας | 05/02/2026 |
| Αναγνωριστικό προϊόντος | P241023247 |
| Γλώσσα |
Gasonics 9104 плазмен ашър
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 Plasmaschleuder
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Arandela de plasma Gasonics 9104
Gasonics 9104 cendres à plasma
Gasonics 9104 plazma čistač
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
"Gasonics" 9104 plazminis ašeris
Gasonics 9104 plasma asher
Laser plazmowy Gasonics 9104
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 asher cu plasmă
Gasonics 9104 плазменный ашер
Gasonics 9104 plazma asher
Gasonics 9104 plasma asher
Gasonics 9104 plazma asher
|
Το Σύστημα Gasonics 9104 Ash/Etch έχει σχεδιαστεί για την επεξεργασία ημιαγωγικών πλακών, συμβατό με μεγέθη πλακών μέχρι 20,32 εκ. (8 ίντσες). Διαθέτει δοχείο επεξεργασίας από χαλαζία με διάμετρο περίπου 14 ίντσες (περίπου 35,5 εκ.) και βάθος 20 ίντσες, κατάλληλο για εφαρμογές με φθοριωμένη χημεία. Το δοχείο περιλαμβάνει εξωτερικά RF ηλεκτρόδια και είναι εξοπλισμένο με θερμοζεύγος επικαλυμμένο με χαλαζία για παρακολούθηση θερμοκρασίας.
Το σύστημα χρησιμοποιεί γεννήτρια RF ENI OEM 12B, που παρέχει 1250 watt σε 13,56 MHz, ψύχεται με αέρα με αυτόματο δίκτυο προσαρμογής εμπέδησης· η υδρόψυξη διατίθεται ως επιλογή. Η πίεση της διεργασίας μπορεί να ελεγχθεί εντός εύρους περίπου 120 έως 2000 mtorr. Οι σωληνώσεις από ανοξείδωτο ατσάλι εξασφαλίζουν ανθεκτικότητα και χαμηλή μόλυνση με σωματίδια.
Ο έλεγχος γίνεται μέσω πολυκαναλικού μονοπλακιδίου υπολογιστή με έγχρωμη οθόνη αφής 12,1 ιντσών για παρακολούθηση και έλεγχο της διεργασίας, υποστηρίζοντας αυτόματες συνταγές καθώς και χειροκίνητες θεραπείες πλάσματος. Ο πίνακας ελέγχου περιλαμβάνει κουμπί έκτακτης ανάγκης, κουμπιά ΕΝΕΡΓΟΠΟΙΗΣΗΣ και ΑΠΕΝΕΡΓΟΠΟΙΗΣΗΣ, αριθμητικό πληκτρολόγιο και μονάδα δισκέτας για αποθήκευση δεδομένων.
Η παροχή αερίου περιλαμβάνει δύο μαζικούς ελεγκτές ροής με ανοξείδωτα εξαρτήματα VCR, καθένας ικανός να χειριστεί έως 500 sccm, με επιλογές για επιπρόσθετα κανάλια αερίου. Οι απαιτήσεις ισχύος είναι 208 έως 240 βολτ, τριφασικό, 50/60 Hz με διασύνδεση 5 καλωδίων τύπου wye.
Το σύστημα είναι τοποθετημένο σε περίβλημα από ανοξείδωτο ατσάλι με σχεδίαση τοποθέτησης σε τοίχο NEMA-12, με χειρολαβή κλειδώματος για ασφάλεια. Το περίβλημα περιέχει τον έλεγχο τροφοδοσίας AC, την παροχή ρεύματος και την αντλία, επιτρέποντας μία σύνδεση σε μία πηγή ενέργειας. Ο εξοπλισμός εμφανίζει καθαρή εξωτερική εμφάνιση με μικρές ενδείξεις χρήσης, συμπεριλαμβανομένης μικρής περιοχής αποχρωματισμού κοντά στο πλαίσιο του κυκλικού παραθύρου της κάψου και κάποια φθορά στη ξεχωριστή ηλεκτρονική μονάδα ελέγχου. Το γυαλί του κυκλικού παραθύρου είναι καθαρό και ανέπαφο, και η πίσω πλευρά περιλαμβάνει διάφορες συνδέσεις, ανεμιστήρες ψύξης και χειριστήρια διακοπής έκτακτης ανάγκης, όλα σε καλή κατάσταση.
Το σύστημα Gasonics 9104 διαθέτει πιστοποίηση CE και είναι κατάλληλο για επεξεργασία πλακών 4", 6" και 8", με χωρητικότητα περίπου 100 πλακών για 4", 50-75 για 6" και 50 για 8".
Η ακόλουθη περιγραφή έχει δημιουργηθεί με χρήση τεχνητής νοημοσύνης με βάση τις διαθέσιμες πληροφορίες προϊόντος. Παρέχεται μόνο για καθοδήγηση και ενδέχεται να μην αντικατοπτρίζει όλες τις προδιαγραφές ή τους όρους. Επικοινωνήστε μαζί μας εάν χρειάζεστε ακριβείς ή επιβεβαιωμένες λεπτομέρειες.
| Τύπος πελάτη | Έμπορος μηχανημάτων |
| Ενεργός από τότε | 2019 |
| Προσφορές online | 57 |
| Τελευταία δραστηριότητα | 03/11/2026 |
Γερμανία
2020
Μαλαισία
2006
| Μέγεθος γκοφρέτας | 15.24 cm |
|---|
Μαλαισία
Αυστρία
1981
Ηνωμένες Πολιτείες
2008
| Μέγεθος γκοφρέτας | 15.24 cm |
|---|
Ηνωμένες Πολιτείες
| Μέγεθος γκοφρέτας | 30 cm |
|---|
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
| Μέγεθος γκοφρέτας | 1250 cm |
|---|
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
Ηνωμένες Πολιτείες
Ουγγαρία
Νορβηγία
Πορτογαλία
English (EU)
English (GB)